Какие пункты формулы рассматривались
8 июля 2026 года Патентный суд Республики Корея отклонил иск по делу 2025Heo10509, сохранив решение IPTAB от 27 июня 2025 года об отмене пунктов 1, 2, 4, 5 и 7 патента № 2640367. Вывод нельзя распространять на пункты 3 и 6 или описывать как признание недействительными всех пунктов.
Влага, нагрев и реакция резиста
Пункт 1 касался обработки экспонированной подложки с металлсодержащим резистом либо металлической жёсткой маской на нагревательной плите. Камера откачивалась и нагревалась; до или во время нагрева подавалась влага в заданном диапазоне 43–60 % для агрегации. Пункты 4 и 7 относились к соответствующим устройству и носителю программы.
Источник 1 описывал контроль влажности при постэкспозиционном нагреве органического химически усиленного резиста. Источник 5 раскрывал гидролиз металлсодержащего материала, образование гидроксидов и последующую конденсацию связей металл–кислород. Суд оценивал реальный механизм, а не только различие слов «агрегация» и «конденсация». Конденсация продолжалась и при нагреве, а не ограничивалась раствором или экспонированием.
Основания для сочетания технических решений
Связь влажности с шириной линий и равномерностью рисунка, как и реакция металлсодержащих резистов на воду, была известна. Суд оценил применение известного управления процессом при выборе металлических материалов ради разрешения и стойкости к травлению.
Анализ связывал техническую задачу, свойства материала и условия обработки. Он не основывался на предположении о химической идентичности органических и металлсодержащих резистов.
Пересечение диапазонов не решало вопрос самостоятельно
Источник 1 указывал относительную влажность 45–55 % при 23 °C, входящую в заявленные 43–60 %. Из-за различия материалов одно пересечение не доказывало тождество решений. Оно учитывалось вместе с мотивами сочетания и предсказуемым влиянием влаги на ширину линий.
Для выбранного диапазона не был установлен качественно иной либо заметно улучшенный эффект; в данном деле выбор расценили как обычную оптимизацию. Это оценка конкретного раскрытия, а не правило об обязательности одинаковых экспериментов для всех числовых изобретений.
Зависимые пункты и практические выводы
Для пунктов 2 и 5 источник 6 раскрывал увлажнение примерно до 50 % перед нагревом. Отдельная закрываемая ёмкость была признана обычным конструкторским выбором. Изобретательский уровень пунктов 1, 4 и 7 отрицался на основе источников 1 и 5, а пунктов 2 и 5 — с добавлением источника 6.
При подготовке заявки следует раскрывать связь материала, реакции и процесса, значение границ диапазона и подтверждение эффекта. В споре необходимо оценивать все признаки каждого пункта и мотивы сочетания. IPLEX помогает с подготовкой заявок, оспариванием и судебными разбирательствами по патентам в Корее.
Сохранены исходные обозначения и формы; содержание раскрыто в тексте.