# Диапазоны влажности и изобретательский уровень в полупроводниковом процессе

Корейский суд рассмотрел реакцию металлсодержащего резиста, числовые ограничения и основания для сочетания предшествующих решений.

Source: https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1882

ГЛАВНАЯ / Новости и аналитика Новости и аналитика Диапазоны влажности и изобретательский уровень в полупроводниковом процессе Корейский суд рассмотрел реакцию металлсодержащего резиста, числовые ограничения и основания для сочетания предшествующих решений. Патенты и полезные модели 2026.10.27 Опубликовано IPLEX Время чтения: 9 мин. Какие пункты формулы рассматривались 8 июля 2026 года Патентный суд Республики Корея отклонил иск по делу 2025Heo10509, сохранив решение IPTAB от 27 июня 2025 года об отмене пунктов 1, 2, 4, 5 и 7 патента № 2640367. Вывод нельзя распространять на пункты 3 и 6 или описывать как признание недействительными всех пунктов. Влага, нагрев и реакция резиста Пункт 1 касался обработки экспонированной подложки с металлсодержащим резистом либо металлической жёсткой маской на нагревательной плите. Камера откачивалась и нагревалась; до или во время нагрева подавалась влага в заданном диапазоне 43–60 % для агрегации. Пункты 4 и 7 относились к соответствующим устройству и носителю программы. Источник 1 описывал контроль влажности при постэкспозиционном нагреве органического химически усиленного резиста. Источник 5 раскрывал гидролиз металлсодержащего материала, образование гидроксидов и последующую конденсацию связей металл–кислород. Суд оценивал реальный механизм, а не только различие слов «агрегация» и «конденсация». Конденсация продолжалась и при нагреве, а не ограничивалась раствором или экспонированием. Рисунок 7 патента: устройство тепловой обработки Основания для сочетания технических решений Связь влажности с шириной линий и равномерностью рисунка, как и реакция металлсодержащих резистов на воду, была известна. Суд оценил применение известного управления процессом при выборе металлических материалов ради разрешения и стойкости к травлению. Анализ связывал техническую задачу, свойства материала и условия обработки. Он не основывался на предположении о химической идентичности органических и металлсодержащих резистов. Источник 1, рисунок 4: откачка и нагрев Пересечение диапазонов не решало вопрос самостоятельно Источник 1 указывал относительную влажность 45–55 % при 23 °C, входящую в заявленные 43–60 %. Из-за различия материалов одно пересечение не доказывало тождество решений. Оно учитывалось вместе с мотивами сочетания и предсказуемым влиянием влаги на ширину линий. Для выбранного диапазона не был установлен качественно иной либо заметно улучшенный эффект; в данном деле выбор расценили как обычную оптимизацию. Это оценка конкретного раскрытия, а не правило об обязательности одинаковых экспериментов для всех числовых изобретений. Материал о связи влажности и формирования рисунка Зависимые пункты и практические выводы Для пунктов 2 и 5 источник 6 раскрывал увлажнение примерно до 50 % перед нагревом. Отдельная закрываемая ёмкость была признана обычным конструкторским выбором. Изобретательский уровень пунктов 1, 4 и 7 отрицался на основе источников 1 и 5, а пунктов 2 и 5 — с добавлением источника 6. При подготовке заявки следует раскрывать связь материала, реакции и процесса, значение границ диапазона и подтверждение эффекта. В споре необходимо оценивать все признаки каждого пункта и мотивы сочетания. IPLEX помогает с подготовкой заявок, оспариванием и судебными разбирательствами по патентам в Корее. Сохранены исходные обозначения и формы; содержание раскрыто в тексте. Прочитать корейский оригинал Материал отражает ситуацию на дату публикации. Обратитесь в IPLEX, чтобы обсудить обстоятельства вашего дела. Обсудить этот вопрос ↗ Все статьи Связанная практика: изобретения и полезные модели ↗ Смежные услуги: споры и обжалование в сфере интеллектуальной собственности ↗ НА ЭТОЙ СТРАНИЦЕ Какие пункты формулы рассматривались Влага, нагрев и реакция резиста Основания для сочетания технических решений Пересечение диапазонов не решало вопрос самостоятельно Зависимые пункты и практические выводы ОБРАТИТЕСЬ В IPLEX Обсудите с нами вопросы интеллектуальной собственности Мы рассматриваем ваши технологические и бизнес-потребности вместе. ↗ Связаться с нами Новее GreenBoxes: описательное обозначение и приобретённая различительная способность ↗ Ранее Подача заявки и регистрация товарного знака в Новой Зеландии ↗ Материалы по теме Патенты и полезные модели 2026.10.29 Отзыв патентной заявки во время судебного оспаривания отказа В деле 2025Heo10510 Патентный суд Кореи рассмотрел, как отзыв заявки устраняет правовой интерес в отмене решения, которым был сохранён отказ в выдаче патента. ↗ Читать статью Патенты и полезные модели 2026.10.28 Ремонт подушек саксофона: признаки способа и изобретательский уровень Корейский суд сопоставил продукт, определённый через способ изготовления, с руководством и видеозаписью ремонта. ↗ Читать статью Патенты и полезные модели 2026.10.26 Изменение зависимости пункта формулы не всегда сужает охрану Корейское дело об анизотропном проводящем соединении показывает значение унаследованных признаков, допустимости изменений и изобретательского уровня. ↗ Читать статью

- https://www.iplexlaw.co.kr/ru
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/category/patent
- https://www.iplexlaw.co.kr/ko/blog/brunch-case-1882
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/contact
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/ip-solutions/patent#related-insights
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/ip-solutions/disputes#related-insights
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1882#article-1882-en-0
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1882#article-1882-en-1
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1882#article-1882-en-2
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1882#article-1882-en-3
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1882#article-1882-en-4
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/contact
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1883
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/new-zealand-trademark-filing-guide
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1892
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1892
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1886
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1886
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1875
- https://www.iplexlaw.co.kr/ru/blog/brunch-case-1875